Verfahren und Vorrichtung zur Ablagerung Atomarer Schichten auf einem Substrat
EP2907893
Art B1
21. September 2016
Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2907893
- Aktenzeichen
- EP15161172
- Anmeldetag
- 11. Februar 2011
- Veröffentlichung
- 21. September 2016
- Erteilung
- 21. September 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/677C23C16/455C23C16/54C23C16/458
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)
Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.
3.163 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Jansen, Cornelis Marinus
Den Haag, Niederlande
3.760
Patente gesamt
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37
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
V.O
V.O · Den Haag