Belichtungsvorrichtung mit Dämpfer, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP2908332 Art B1 17. Februar 2021

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2908332
Aktenzeichen: EP13845960
Anmeldetag: 8. Oktober 2013
Veröffentlichung: 17. Februar 2021
Erteilung: 17. Februar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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