Verfahren zur Herstellung eines Mehrschichtigen Halbleiterbauelements und Dadurch Hergestelltes Halbleiterbauelement

EP2909358 Art A1 26. August 2015

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2909358
Aktenzeichen
EP13784013
Anmeldetag
18. Oktober 2013
Veröffentlichung
26. August 2015
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/455H01L51/00H01L51/50H01L51/52H01L51/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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