Verfahren zum Ätzen von organischen Filmen

EP2911185 Art B1 13. Dezember 2017

Anmelder: Aichi Steel Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2911185
Aktenzeichen: EP15154874
Anmeldetag: 12. Februar 2015
Veröffentlichung: 13. Dezember 2017
Erteilung: 13. Dezember 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/311G01R33/06// B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Aichi Steel Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Aichi Steel

Aichi Steel ist ein japanischer Stahl- und Werkstoffhersteller mit Sitz in der Präfektur Aichi, der zur Toyota-Unternehmensgruppe gehört. Das Patentportfolio betrifft Mess-, Prüf- und Zeitmesstechnik sowie Halbleiter- und Steuerungstechnik, unter anderem im Bereich Fahrzeugsensorik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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