Korrosions- und Ablagerungsgeschützte Ventilvorrichtung und Verfahren

EP2912358 Art B1 6. Dezember 2017

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2912358
Aktenzeichen: EP13849699
Anmeldetag: 23. Oktober 2013
Veröffentlichung: 6. Dezember 2017
Erteilung: 6. Dezember 2017
Rechtsraum: EP
IPC: F16K41/10F16K31/122F16K27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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