Verfahren zur Erzeugung von Metallisierungen in Sackloch-Vias

EP2912686 Art B1 21. Dezember 2016

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2912686
Aktenzeichen: EP13780143
Anmeldetag: 23. Oktober 2013
Veröffentlichung: 21. Dezember 2016
Erteilung: 21. Dezember 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/288C23C18/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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