Verfahren zur Züchtung von mindestens einem Nanodraht aus einer Schicht eines Übergangsnitridmetalls bei Herstellung Dieser Schicht in Zwei Stufen

EP2912692 Art B1 3. Juni 2020

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Aledia 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2912692
Aktenzeichen: EP13783544
Anmeldetag: 25. Oktober 2013
Veröffentlichung: 3. Juni 2020
Erteilung: 3. Juni 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/40H01L21/02H01L29/66H01L29/06H01L29/41B82Y10/00B82Y40/00H01L33/00H01L33/12H01L33/20C30B25/18C30B29/60C30B29/36C30B29/16C30B25/00B82Y20/00C30B29/40H01L21/66H01L33/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Aledia
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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