Elektrostatisches Futter mit einer Weichen Hervorstehenden Lichtmusterungs-Kontaktoberfläche
EP2915189
Art B1
8. Januar 2020
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2915189
- Aktenzeichen
- EP13793014
- Anmeldetag
- 29. Oktober 2013
- Veröffentlichung
- 8. Januar 2020
- Erteilung
- 8. Januar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kirkham, Nicholas Andrew
Sevenoaks, Großbritannien
1.132
Patente gesamt
33
Fachgebiete
32
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar