Plasmaquelle für eine Plasma-Cvd-Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung eines Artikels Mithilfe der Plasmaquelle

EP2915902 Art B1 19. Februar 2020

Anmelder: AGC Inc., Asahi Glass Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2915902
Aktenzeichen: EP13850259
Anmeldetag: 23. Oktober 2013
Veröffentlichung: 19. Februar 2020
Erteilung: 19. Februar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/503H01L21/31H05H1/24H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: AGC Inc.
Asahi Glass Company, Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von