Steuerung einer Mischkonzentration

EP2919899 Art A1 23. September 2015

Anmelder: Entegris, Inc., Entegris - Jetalon Solutions, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2919899
Aktenzeichen
EP13798861
Anmeldetag
15. November 2013
Veröffentlichung
23. September 2015
Rechtsraum
EP
IPC
B01F15/04B01F15/00G05D11/13
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Entegris, Inc.
Entegris - Jetalon Solutions, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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