Verfahren zum Formen eines Siliciumfilms
EP2924717
Art A1
30. September 2015
Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2924717
- Aktenzeichen
- EP13856697
- Anmeldetag
- 15. November 2013
- Veröffentlichung
- 30. September 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/316H01L21/762C01B33/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials (Luxembourg) S.à.r.l. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Merck KGaA
Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.
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