Laserbearbeitungsverfahren und Laserbearbeitungsvorrichtung

EP2924820 Art A1 30. September 2015

Anmelder: Kyushu University, National University Corporation, Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2924820
Aktenzeichen: EP13857076
Anmeldetag: 13. November 2013
Veröffentlichung: 30. September 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01S3/115B23K26/00B23K26/064C03B33/02C03B33/08H01S3/00H01S3/10H01S3/23B23K26/382B23K26/40B28D5/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Kyushu University, National University Corporation
Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

1.331 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von