Anordnung zur Betätigung von wenigstens einem Optischen Element in einem Optischen System

EP2926185 Art A1 7. Oktober 2015

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2926185
Aktenzeichen
EP13796013
Anmeldetag
7. November 2013
Veröffentlichung
7. Oktober 2015
Rechtsraum
EP
IPC
G02B7/18G02B7/182G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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