Wärmebetätigte und Projizierte Lithografiesystemen und Verfahren

EP2926197 Art A1 7. Oktober 2015

Anmelder: Northwestern University, North Western University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2926197
Aktenzeichen: EP13851211
Anmeldetag: 15. Oktober 2013
Veröffentlichung: 7. Oktober 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G03F7/16G03F7/207G03F9/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Northwestern University
North Western University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Northwestern University

Private US-amerikanische Universität mit Hauptsitz in Evanston, Illinois, bekannt für Forschung in Ingenieurwissenschaften, Medizin und Materialwissenschaften.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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