Reinigungsflüssigkeit für Halbleiterbauelemente und Reinigungsverfahren damit

EP2927937 Art B1 3. Januar 2018

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2927937
Aktenzeichen: EP13861228
Anmeldetag: 29. November 2013
Veröffentlichung: 3. Januar 2018
Erteilung: 3. Januar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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