Röntgeninspektionsvorrichtung zum Prüfen von Halbleiter-Wafern

EP2927943 Art A1 7. Oktober 2015

Anmelder: Nordson Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2927943
Aktenzeichen
EP14180389
Anmeldetag
8. August 2014
Veröffentlichung
7. Oktober 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/66G01N23/083H01L21/67
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nordson Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Nordson

Nordson ist ein US-amerikanischer Hersteller von Präzisionsdosier- und Auftragssystemen für die industrielle Fertigung. Das Portfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt durch Kunststofftechnik, Verpackung sowie Mess- und Prüfsysteme, etwa für die Röntgeninspektion von Bauteilen. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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