Verfahren und Vorrichtung zur Übertragung von Folien zwischen Substraten
Anmelder: AIXTRON SE, Graphene Frontiers, LLC 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2928700
- Aktenzeichen
- EP13860728
- Anmeldetag
- 6. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 12. September 2018
- Erteilung
- 12. September 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B44C3/08B28B19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AIXTRON SE
Graphene Frontiers, LLC - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.
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Fachgebiete
Wallinger Ricker Schlotter Tostmann sitzt im Zentrum Münchens direkt bei Deutschem und Europäischem Patentamt, spezialisiert auf streitige Verfahren wie Einspruch, Beschwerde und Verletzung sowie Praxis zum Einheitlichen Patentgericht. Deckt Robotik, KI, IoT und Biotechnologie ab, von JUVE zu Deutschlands führenden IP-Kanzleien gezählt.
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