Antriebs- und Kompensationsschaltung für Kapazitive Mems-Strukturen

EP2929293 Art B1 8. August 2018

Anmelder: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2929293
Aktenzeichen: EP13802329
Anmeldetag: 4. Dezember 2013
Veröffentlichung: 8. August 2018
Erteilung: 8. August 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01C19/5726

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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