Reflektierendes Optisches Element zur Euv-Lithografie und Verfahren zur Herstellung eines Reflektierenden Optischen Elements
EP2929398
Art B9
22. März 2017
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2929398
- Aktenzeichen
- EP13811826
- Anmeldetag
- 5. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 22. März 2017
- Erteilung
- 22. März 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G02B5/08G21K1/06G03F1/22B82Y10/00G02B17/06G02B27/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Vertreten von
Frank, Hartmut
Mülheim a. d. Ruhr, Deutschland
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