Rutheniumkomplex und Verfahren zur Herstellung davon sowie Verfahren zur Herstellung einer Rutheniumhaltigen Dünnschicht
EP2930179
Art B1
5. September 2018
Anmelder: Tosoh Corporation, Sagami Chemical Research Institute 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2930179
- Aktenzeichen
- EP13860425
- Anmeldetag
- 6. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 5. September 2018
- Erteilung
- 5. September 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F15/00C23C16/18H01L21/316H01L21/318
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Tosoh Corporation
Sagami Chemical Research Institute - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tosoh Corporation
Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.
707 Patente in unserer Datenbank