Plasmaquelle

EP2932523 Art B1 15. Februar 2017

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon, Oerlikon Surface Solutions AG, Trübbach 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2932523
Aktenzeichen: EP13802538
Anmeldetag: 9. Dezember 2013
Veröffentlichung: 15. Februar 2017
Erteilung: 15. Februar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Oerlikon Surface Solutions AG, Trübbach
Land: 🇨🇭 Schweiz

🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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