Gasreinigungsfiltereinheit

EP2933227 Art B1 6. November 2019

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2933227
Aktenzeichen: EP13861626
Anmeldetag: 9. Dezember 2013
Veröffentlichung: 6. November 2019
Erteilung: 6. November 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C01B13/10B01D53/02B01D53/04B01D63/14B01D71/32B01D71/36B01J20/28B01D46/00B01J20/18B01J20/10

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik

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Keen, Celia Mary London, Großbritannien

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