Verfahren zur Herstellung einer Nanolithographischen Maske
EP2936249
Art A1
28. Oktober 2015
Anmelder: Arkema France, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2936249
- Aktenzeichen
- EP13818313
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 28. Oktober 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/32C08L53/00G03F7/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Arkema France
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Arkema
Französischer Chemiekonzern mit Sitz bei Paris. Arkema entwickelt Spezialchemikalien, Hochleistungspolymere, Klebstoffe und Beschichtungsmaterialien für Industrie, Bauwesen, Elektronik und Konsumgüter.
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Fragnaud, Aude
Pau, Frankreich
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A.P.I. Conseil · Pau