Verfahren zur Herstellung einer Nanolithographischen Maske
Anmelder: Arkema France, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2936249
- Aktenzeichen
- EP13818313
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2013
- Veröffentlichung
- 28. Oktober 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/32C08L53/00G03F7/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Arkema France
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französischer Chemiekonzern mit Sitz bei Paris. Arkema entwickelt Spezialchemikalien, Hochleistungspolymere, Klebstoffe und Beschichtungsmaterialien für Industrie, Bauwesen, Elektronik und Konsumgüter.
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Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Fachgebiete
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A.P.I. Conseil
A.P.I. Conseil · Pau