Flüssige Dotiermedien zur Lokalen Dotierung von Siliziumwafern

EP2938760 Art A1 4. November 2015

Anmelder: Merck Patent GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2938760
Aktenzeichen: EP13817655
Anmeldetag: 18. Dezember 2013
Veröffentlichung: 4. November 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C30B31/04C23C18/12C23C18/32H01L21/02H01L21/48H01L31/0216

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Merck Patent GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Merck KGaA

Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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