Inline-Plasma-Cvd-Vorrichtung

EP2940183 Art A1 4. November 2015

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2940183
Aktenzeichen: EP13868944
Anmeldetag: 12. Dezember 2013
Veröffentlichung: 4. November 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/458C23C16/44C23C16/503C23C16/26H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.)
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von