Lichtempfindliche Harzzusammensetzung, Lichtempfindlicher Film und Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur

EP2940527 Art B1 23. Oktober 2019

Anmelder: HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD., Hitachi Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2940527
Aktenzeichen: EP13867288
Anmeldetag: 5. November 2013
Veröffentlichung: 23. Oktober 2019
Erteilung: 23. Oktober 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/038G03F7/004H01L21/027H05K3/28C08G59/24C08G59/62C08G59/68C08L63/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD.
Hitachi Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von