Laserpulsenergiesteuerungssysteme und Verfahren

EP2943311 Art A1 18. November 2015

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2943311
Aktenzeichen
EP14737541
Anmeldetag
9. Januar 2014
Veröffentlichung
18. November 2015
Rechtsraum
EP
IPC
B23K26/06B23K26/082B23K26/03
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Electro Scientific Industries, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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