Beurteilungsverfahren für Oxidhalbleiter-Dünnschicht, Verfahren zur Qualitätskontrolle einer Oxidhalbleiter-Dünnschicht und in Diesem Beurteilungsverfahren Verwendetes Beurteilungselement sowie Beurteilungsvorrichtung

EP2944948 Art B1 16. August 2017

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2944948
Aktenzeichen: EP14738131
Anmeldetag: 9. Januar 2014
Veröffentlichung: 16. August 2017
Erteilung: 16. August 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G01N22/00H01L21/336H01L29/786G01R31/26H01L29/66H01L21/66H01L27/12H01L29/24G01R31/265G01R31/28G01R31/308

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.)
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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