Lithografievorrichtung, Bestimmungsverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP2947512 Art B1 23. März 2022

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2947512
Aktenzeichen
EP15001489
Anmeldetag
18. Mai 2015
Veröffentlichung
23. März 2022
Erteilung
23. März 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G03F9/00G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Canon Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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