Belichtungsvorrichtung, Mobile Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP2947679 Art A1 25. November 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2947679
Aktenzeichen: EP13856886
Anmeldetag: 20. November 2013
Veröffentlichung: 25. November 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20H01L21/027G05D3/00H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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