Saugvorrichtung, Eintrageverfahren, Fördersystem, Lichtexpositionsvorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP2950328 Art A1 2. Dezember 2015

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2950328
Aktenzeichen: EP13858330
Anmeldetag: 27. November 2013
Veröffentlichung: 2. Dezember 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G03F7/20H01L21/687H01L21/683B25J11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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