Plasmaätzverfahren, Plasmaätzvorrichtung, Plasmaverarbeitungsverfahren und Plasmaverarbeitungsvorrichtung
EP2950333
Art B1
31. Januar 2018
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2950333
- Aktenzeichen
- EP15750909
- Anmeldetag
- 25. Februar 2015
- Veröffentlichung
- 31. Januar 2018
- Erteilung
- 31. Januar 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/3065H01L21/683H05H1/46H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Lannemyr, Emil Fredrik
Jönköping, Schweden
9
Patente gesamt
9
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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AWA Sweden AB
AWA Sweden AB · Stockholm
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Awapatent AB
Awapatent AB · Helsingborg