Herstellung einer Submikrometerstruktur unter Verwendung eines Flüssigen Vorläufers
EP2951863
Art A1
9. Dezember 2015
Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2951863
- Aktenzeichen
- EP14702962
- Anmeldetag
- 28. Januar 2014
- Veröffentlichung
- 9. Dezember 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L27/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Technische Universiteit Delft
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
Technische Universiteit Delft
Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
De Vries & Metman
De Vries & Metman · Amsterdam