Herstellungsverfahren für Soi-Wafer und Soi-Wafer

EP2953153 Art B1 26. Mai 2021

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2953153
Aktenzeichen
EP13874124
Anmeldetag
10. Dezember 2013
Veröffentlichung
26. Mai 2021
Erteilung
26. Mai 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/265H01L27/12H01L21/762H01L29/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff München, Deutschland

Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.

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