Verwendung von TMDSO zur Abscheidung einer Siliciumdioxidschicht auf ein Substrat
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE, CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE, L'ECOLE POLYTECHNIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2953156
- Aktenzeichen
- EP14305831
- Anmeldetag
- 2. Juni 2014
- Veröffentlichung
- 9. Dezember 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L31/0216
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
L'ECOLE POLYTECHNIQUE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
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Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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