Verfahren und Vorrichtung zur Ablagerung Atomarer Schichten auf einem Substrat

EP2954094 Art B1 24. April 2019

Anmelder: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2954094
Aktenzeichen: EP14705592
Anmeldetag: 6. Februar 2014
Veröffentlichung: 24. April 2019
Erteilung: 24. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/458C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 TNO (Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek)

Niederländisches, unabhängiges Forschungsinstitut für angewandte Naturwissenschaften mit Sitz in Den Haag. TNO betreibt anwendungsorientierte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Energie, Mobilität, Gesundheit, Verteidigung und Informationstechnologie.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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