Kammerinterne Flüssigkeitshandhabungssystem

EP2954300 Art B1 13. Oktober 2021

Anmelder: Elemental Scientific Lasers, LLC, Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2954300
Aktenzeichen
EP14749219
Anmeldetag
6. Februar 2014
Veröffentlichung
13. Oktober 2021
Erteilung
13. Oktober 2021
Rechtsraum
EP
IPC
G01N1/22G01N35/08// G01N1/38H01J49/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Elemental Scientific Lasers, LLC
Electro Scientific Industries, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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