Rohling aus TiO2-SiO2-Glas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der Euv-Lithographie sowie Verfahren für dessen Herstellung
EP2954372
Art A2
16. Dezember 2015
Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2954372
- Aktenzeichen
- EP14702598
- Anmeldetag
- 4. Februar 2014
- Veröffentlichung
- 16. Dezember 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03B19/14C03B32/00C03B20/00C03C3/06G02B5/08G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Heraeus Quarzglas
Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.
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Fachgebiete
Kanzlei
Patentanwalt Armin Staudt
Hanau, Deutschland
Sammelte erste Berufsjahre in der Industrie, ab 1990 patentanwaltliche Ausbildung bei einem Hanauer Technologieunternehmen, seit 2004 ausschließlich eigene Kanzlei in Hanau. Berät zu Patenten, Gebrauchsmustern, Marken und Designs mit anwendungsnahem, industriegeprägtem Ansatz.
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