Verwendung von 9-[1,1'-Biphenyl]-4-Yl-9H-Xanthene-2,7-Diol und Ähnlichen Verbindungen zur Formung von Harzen zur Verwendung in Unterschichtfilmen für Lithographie und Strukturformungsverfahren

EP2955175 Art B1 4. April 2018

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2955175
Aktenzeichen: EP14749377
Anmeldetag: 4. Februar 2014
Veröffentlichung: 4. April 2018
Erteilung: 4. April 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C07D311/86G03F7/11G03F7/26H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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