Ionenbeschussvorrichtung und Reinigungsverfahren für Substratoberflächen damit

EP2955244 Art A1 16. Dezember 2015

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2955244
Aktenzeichen: EP14748572
Anmeldetag: 9. Januar 2014
Veröffentlichung: 16. Dezember 2015
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/02H01J37/32C23C14/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.)
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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