Abscheidungsvorrichtung und Verwendungsverfahren
Anmelder: United Technologies Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2955247
- Aktenzeichen
- EP15171956
- Anmeldetag
- 12. Juni 2015
- Veröffentlichung
- 20. Dezember 2017
- Erteilung
- 20. Dezember 2017
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/50C23C14/56
Abstract
A deposition apparatus comprises: an infeed chamber (28; 28-1); a preheat chamber (30; 30-1); a deposition chamber (26; 26-1); and optionally at least one of a cooldown chamber (34) and an outlet chamber (38). At least a first of the preheat chamber and the cooldown chamber contains a buffer system (60; 60-1; 60-2) for buffering workpieces respectively passing to or from the deposition chamber.
Anmelder
- Firma
- United Technologies Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Luft- und Raumfahrt- sowie Verteidigungskonzern, entstanden aus Raytheon und United Technologies. Entwickelt und fertigt Triebwerke, Avionik, Radarsysteme, Raketen- und Verteidigungstechnik für zivile und militärische Kunden.
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Fachgebiete
-
Dehns
Dehns · London