Verbindung, Material zur Formung eines Unterschichtfilms zur Lithografie, Unterschichtfilm zur Lithografie und Strukturformungsverfahren

EP2955577 Art B1 31. Januar 2018

Anmelder: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2955577
Aktenzeichen: EP14749602
Anmeldetag: 4. Februar 2014
Veröffentlichung: 31. Januar 2018
Erteilung: 31. Januar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/11C07D493/04H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

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