System zum Reinigen von Halbleiterscheiben

EP2955745 Art A1 16. Dezember 2015

Anmelder: Toyo Advanced Technologies Co., Ltd., Applied Materials, Inc., Applied Materials Switzerland Sàrl 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2955745
Aktenzeichen: EP14171976
Anmeldetag: 11. Juni 2014
Veröffentlichung: 16. Dezember 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67B28D5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Toyo Advanced Technologies Co., Ltd.
Applied Materials, Inc.
Applied Materials Switzerland Sàrl
Land: 🇯🇵 Japan

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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