Unterdruckspannvorrichtung mit Polymeren Prägungen
EP2956960
Art B1
29. März 2023
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2956960
- Aktenzeichen
- EP14707277
- Anmeldetag
- 11. Februar 2014
- Veröffentlichung
- 29. März 2023
- Erteilung
- 29. März 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Vertreten von
Keen, Celia Mary
London, Großbritannien
369
Patente gesamt
24
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar