Unterdruckspannvorrichtung mit Polymeren Prägungen
EP2956960
Art B1
29. März 2023
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2956960
- Aktenzeichen
- EP14707277
- Anmeldetag
- 11. Februar 2014
- Veröffentlichung
- 29. März 2023
- Erteilung
- 29. März 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
1.105 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Keen, Celia Mary
London, Großbritannien
369
Patente gesamt
24
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar