Optisches Bauteil aus Quarzglas zur Verwendung in der Arf-Excimerlaser-Lithographie sowie Verfahren zur Herstellung des Bauteils
EP2958869
Art B1
12. Juni 2019
Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2958869
- Aktenzeichen
- EP14705187
- Anmeldetag
- 19. Februar 2014
- Veröffentlichung
- 12. Juni 2019
- Erteilung
- 12. Juni 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C03C4/04C03B32/02C03B19/14C03C3/06C03B32/00G02B1/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Heraeus Quarzglas
Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.
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Fachgebiete
Kanzlei
Patentanwalt Armin Staudt
Hanau, Deutschland
Sammelte erste Berufsjahre in der Industrie, ab 1990 patentanwaltliche Ausbildung bei einem Hanauer Technologieunternehmen, seit 2004 ausschließlich eigene Kanzlei in Hanau. Berät zu Patenten, Gebrauchsmustern, Marken und Designs mit anwendungsnahem, industriegeprägtem Ansatz.
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