Photolack mit Positiv-Resist Verhalten, Verfahren zu dessen Photochemischer Strukturierung, Verfahren zur Herstellung von Silanen und von Kieselsäure(hetero)poly(co)kondensaten mit Positiv-Resist-Verhalten sowie Kieselsäure(hetero)poly(co)kondensaten

EP2959342 Art A1 30. Dezember 2015

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2959342
Aktenzeichen: EP14708512
Anmeldetag: 25. Februar 2014
Veröffentlichung: 30. Dezember 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039C07F7/18C08G77/28G03F7/075

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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