Systeme und Verfahren zur Modulation des Durchflusses Während der Dampfstrahlabscheidung von Organischen Materialien
Anmelder: Universal Display Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2960059
- Aktenzeichen
- EP15172150
- Anmeldetag
- 15. Juni 2015
- Veröffentlichung
- 24. Oktober 2018
- Erteilung
- 24. Oktober 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B41J2/045
Abstract
Embodiments of the disclosed subject matter provide methods and systems including a nozzle, a source of material to be deposited on a substrate in fluid communication with the nozzle, a delivery gas source in fluid communication with the source of material to be deposited with the nozzle, an exhaust channel disposed adjacent to the nozzle, a confinement gas source in fluid communication with the nozzle and the exhaust channel, and disposed adjacent to the exhaust channel, and an actuator to adjust a fly height separation between a deposition nozzle aperture of the nozzle and a deposition target. The adjustment of the fly height separation may stop and/or start the deposition of the material from the nozzle.
Anmelder
- Firma
- Universal Display Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
Universal Display ist ein US-amerikanisches Unternehmen für organische Leuchtdioden (OLED) mit Sitz in New Jersey. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie organische Chemie, unter anderem für OLED-Emittermaterialien. Anmeldungen reichen von 2001 bis in die Gegenwart.
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