Rohling aus Titan-dotiertem Kieselglas für ein Spiegelsubstrat für den Einsatz in der EUV-Lithographie und Verfahren für seine Herstellung
EP2960219
Art B1
16. Januar 2019
Anmelder: Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2960219
- Aktenzeichen
- EP14174699
- Anmeldetag
- 27. Juni 2014
- Veröffentlichung
- 16. Januar 2019
- Erteilung
- 16. Januar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C03C3/06C03B19/14G03F1/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Heraeus Quarzglas
Deutscher Hersteller von Quarzglas, das für optische Komponenten, Halbleiterfertigung, Beleuchtung und industrielle Anwendungen wie Lichtwellenleiter und Hochtemperaturprozesse eingesetzt wird.
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Fachgebiete
Kanzlei
Patentanwalt Armin Staudt
Hanau, Deutschland
Sammelte erste Berufsjahre in der Industrie, ab 1990 patentanwaltliche Ausbildung bei einem Hanauer Technologieunternehmen, seit 2004 ausschließlich eigene Kanzlei in Hanau. Berät zu Patenten, Gebrauchsmustern, Marken und Designs mit anwendungsnahem, industriegeprägtem Ansatz.
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