Vorrichtung und Verfahren zur Bereitstellung eines Fluids für Immersionslithographie

EP2960702 Art B1 22. Februar 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2960702
Aktenzeichen: EP15158998
Anmeldetag: 16. Juli 2004
Veröffentlichung: 22. Februar 2017
Erteilung: 22. Februar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B21/00G03B27/52

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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