Belichtungsgerät, Belichtungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung

EP2963498 Art B8 26. Juli 2017

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2963498
Aktenzeichen: EP15178235
Anmeldetag: 19. Januar 2007
Veröffentlichung: 26. Juli 2017
Erteilung: 26. Juli 2017
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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